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【光刻机是什么,光刻机的工作原理】

什么是光刻机?

光刻是半导体制造的重要设备之一，是将芯片的电路图案以光学方式转移到晶圆上的高精度设备。

光刻机的工作原理

光刻的工作原理是基于光学投影，将掩膜上的芯片电路图案用镜头放大后投射到硅片上，经过感光材料曝光、显影等工序后形成芯片电路。

光刻机的分类

按投影方式，光刻机可分为接触式光刻机和非接触式光刻机;根据曝光光源的不同，可分为紫外线光刻和电子束光刻。

光刻设备的应用领域

光刻设备广泛应用于半导体、集成电路、微机械系统等领域，是现代电子工业的关键设备之一。

光刻技术的发展趋势

随着技术的不断发展，光刻机的分辨率和精度不断提高，同时设备的尺寸和功耗也在不断提高，未来光刻机将更加智能化、高效化。